電子級氫氟酸 半導體晶圓清洗蝕刻用 高純氫氟酸 可定製濃度
電子級氫氟酸：
英文名 hydrofluoric acid，分子式HF，分子量 20. 01。為無色透明液體 ，相對密度1. 15～1 . 18，沸點 112 . 2 ℃，在空氣中發煙 ，有刺激性氣味 ，劇毒。能與一般金屬、 金屬氧化物以及氫氧化物發生反應 ，生成各種鹽類。腐蝕性極強 ，能侵蝕玻璃和矽酸鹽而生成氣態的四氟化矽。易溶於水、醇 ，難溶於其他有機溶劑。高純氫氟酸為強酸性清洗、 腐蝕劑 ，可與硝酸、冰醋酸、 雙氧水及氫氧化銨等配置使用。。
生產工藝：
將無水氫氟酸經化學預處理後，進入精餾塔通過精餾操作，得到的氟化氫氣體經冷卻後，在吸收塔中用超純水吸收，並采用控製噴淋密度、氣液比等方法使電子級氫氟酸進一步純化，隨後經0.2μm以下超濾工序，最後在密閉潔淨環境條件下( 百級以下) 進行灌裝得到最終產品———電子級氫氟酸。
質量標準：
用途：
應用於集成電路 ( I C)和超大規模集成電路 (VLSI)芯片的清洗和腐蝕 ,是微電子行業製作過程中的關鍵性基礎化工材料之一 ,還可用作分析試劑和製備高純度的含氟化學品。在國內基本上是作為蝕刻劑和清洗劑用於微電子行業 ,其他方面用量較少。
產品標準：GB620-2011
| 級別 | 製程技術 (um) | 應用領域 | 金屬雜質 (ppb) | 微粒子 (個/ml) |
| EL | >1.2 | 光伏；TFT顯示屏LED | ≦100 | ≦25(≧1.0um ) |
| UP | 0.8-1.2 | 光伏；LED；玻璃薄化；顯示屏；IC芯片<6” | ≦10 | ≦25(≧0.5um ) |
| UPS | 0.2-0.6 | LED；顯示屏；IC封裝；IC芯片≦6” | ≦1 | ≦5(≧0.5um ) |
| UPSS | 0.09-0.2 | IC芯片8”；12” | ≦0.1 (100ppt) | ≦200（待議）( ≧0.2 um） |
| UPSSS | 0.014-0.09 | IC芯片12” | ≦0.01 (10ppt) | ≦20(≧0.1um)、≦10(≧0.2um) |
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