电子级氢氟酸,酸类,江西德宝化工有限公司
电子级氢氟酸：
英文名 hydrofluoric acid，分子式HF，分子量 20. 01。为无色透明液体 ，相对密度1. 15～1 . 18，沸点 112 . 2 ℃，在空气中发烟 ，有刺激性气味 ，剧毒。能与一般金属、 金属氧化物以及氢氧化物发生反应 ，生成各种盐类。腐蚀性极强 ，能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易溶于水、醇 ，难溶于其他有机溶剂。高纯氢氟酸为强酸性清洗、 腐蚀剂 ，可与硝酸、冰醋酸、 双氧水及氢氧化铵等配置使用。。
生产工艺：
将无水氢氟酸经化学预处理后，进入精馏塔通过精馏操作，得到的氟化氢气体经冷却后，在吸收塔中用超纯水吸收，并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化，随后经0.2μm以下超滤工序，最后在密闭洁净环境条件下( 百级以下) 进行灌装得到最终产品———电子级氢氟酸。
质量标准：
用途：
应用于集成电路 ( I C)和超大规模集成电路 (VLSI)芯片的清洗和腐蚀 ,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一 ,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业 ,其他方面用量较少。
产品标准：GB620-2011
| 级别 | 制程技术 (um) | 应用领域 | 金属杂质 (ppb) | 微粒子 (个/ml) |
| EL | >1.2 | 光伏；TFT显示屏LED | ≦100 | ≦25(≧1.0um ) |
| UP | 0.8-1.2 | 光伏；LED；玻璃薄化；显示屏；IC芯片<6” | ≦10 | ≦25(≧0.5um ) |
| UPS | 0.2-0.6 | LED；显示屏；IC封装；IC芯片≦6” | ≦1 | ≦5(≧0.5um ) |
| UPSS | 0.09-0.2 | IC芯片8”；12” | ≦0.1 (100ppt) | ≦200（待议）( ≧0.2 um） |
| UPSSS | 0.014-0.09 | IC芯片12” | ≦0.01 (10ppt) | ≦20(≧0.1um)、≦10(≧0.2um) |
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